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氮化铝陶瓷基片切割所需的产品是怎么生产出来的?
作者:东莞迅腾 发布于:2014/5/24 20:22:22 点击量:

    氮化铝陶瓷基片切割所需的产品是怎么生产出来的?一般生产陶瓷基片都是使用采用粉末冶金工艺来制作的!1、采用粉末冶金工艺制备高导热氮化铝陶瓷基片的方法,其特征在于 该方法包括配粉、加胶造粒、冷等静压成型、烧结、机加工五个步骤,其具 体步骤如下: A、原料粉的配制:按比例称取适量的AlN粉和烧结助剂,装入混料机 中,按1∶1的重量比加入无水乙醇,湿法混合5~15小时至均匀,然后烘 干备用; B、加胶造粒:在配好的原料粉体中按400~600ml/kg的比例加入配好 粘结剂,在混胶机中搅拌混合0.5~2小时后,置于烘箱中在40~80℃范围内 加热10~40min,然后用100目筛子筛分造粒; C、冷等静压成型:将造粒后的粉体装入软胶膜内,放入冷等静压机中 压制成型。软胶膜的尺寸可根据所制备基片的直径或长宽尺寸设计。

   等静压 压力为150~220MPa,保压时间为10~30min;粉料成型后可根据最终基片 尺寸要求进行机加工整形; D、烧结:将压制成型的坯料在10-1~10-3Pa状态下经2~4小时加热到 500~800℃,保温1~2小时,以便除掉加入的粘结剂;然后通入氮气,在4~10 小时内加热升温到1800~2400℃,保温1.5~6小时;保温结束后断电,随炉 冷却; E、机加工:把烧结好的氮化铝坯料按基片所要求的尺寸进行机加工, 如磨外圆或平面至基片要求的外形尺寸,再用内圆切割机切片至需要的基片 厚度,然后研磨、抛光,便得到符合尺寸精度要求的高导热的氮化铝基片。

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